面型精度圖例

    光學(xué)透鏡面型精度是采用精密拋光表面與理想平面的偏差量來(lái)表征。因?yàn)槭褂每梢詼y(cè)量波面的光學(xué)干涉儀來(lái)測(cè)量，所以也被稱為反射波面精度。光學(xué)透鏡面型精度的干涉條紋數(shù)的單位是[λ]。λ是干涉儀所使用的氦氖激光器的波長(zhǎng)632.8nm。

光學(xué)干涉儀條紋圖例

    另外，表征面型精度有兩個(gè)參數(shù)：PV和RMS值。

    PV值是Peak to Valley（峰值與谷值的差值），RMS值是Root Mean Square（均方根值），根據(jù)經(jīng)驗(yàn)RMS值是PV值的1/3左右。因?yàn)橄笃矫孢@類的簡(jiǎn)單形狀，大多使用PV值來(lái)表示，所以本產(chǎn)品目錄中的面型精度使用PV值表示。例如，面型精度的PV值是1/2λ時(shí)，表示與理想平面的最大偏差值是316.4nm。

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